Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (JM3) (formerly: Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems) (JM3)
Volltext online seit: | Jg. 1, 2002 |
---|---|
Fachgebiet: | |
Schlagwort: | |
Webseite: | |
Verlag: | SPIE |
Erscheinungsweise: | Volltext, Online und Druckausgabe |
Kosten: | kostenpflichtig |
ISSN (Onlineausgabe): | 1932-5134, 2708-8340 |
ISSN (Druckausgabe): | 1932-5150 |
Anmerkung: | 1.2002 - 5.2006 u.d.T.: Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems. |
ZDB-Nummer: | 3056313-6 |